Combining initiated chemical vapor deposition and plasma-enhanced atomic layer deposition: a study of initial growth and interface formation

  • Lisanne Demelius (Redner/in)

Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Posterpräsentation › Science to science

Zeitraum27 Juni 2022
Ereignistitel22nd International Conference on Atomic Layer Deposition: ALD/ALE 2022
VeranstaltungstypKonferenz
OrtGhent, BelgienAuf Karte anzeigen
BekanntheitsgradInternational