Model-Based Temperature Control in Thermal Processing of Semiconductor Wafers
- Koch, S. (Redner/in)
- Alexander Schaum (Beitragende/r)
- Martin Kleindienst (Beitragende/r)
- Reichhartinger, M. (Beitragende/r)
- Thomas Meurer (Beitragende/r)
- Jaime A. Moreno (Beitragende/r)
- Horn, M. (Beitragende/r)
Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Vortrag bei Konferenz oder Fachtagung › Science to science