Towards area-selective deposition: Nucleation and initial growth of ZnO during plasma-enhanced ALD on polymer thin films

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag bei Konferenz oder FachtagungScience to science

Zeitraum21 Okt. 202130 Nov. 2021
EreignistitelAVS 67th Virtual Symposium
VeranstaltungstypKonferenz
BekanntheitsgradInternational