Projektdetails
Beschreibung
Innovative Konzepte für einen Halbleiterverarbeitungsprozess
Status | Abgeschlossen |
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Tatsächlicher Beginn/ -es Ende | 1/06/03 → 30/06/05 |
Fingerprint
Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.