Automatische Teilchenanalyse (sowohl morphologisch als auch chemisch) im Rasterelektronenmikroskop

Mit einem Computer-gesteuerten Rasterelektronenmikroskop (SEM) ist in Verbindung mit Bildverarbeitung und energiedispersiver Röntgenspektrometrie (EDX) die automatische Bestimmung sowohl der geometrischen Parameter als auch der chemischen Zusammensetzung tausender Einzelteilchen möglich. Daraus kann dann eine Vielzahl von Korrelationen, z.B. zwischen Teilchengröße und chemischer Zusammensetzung, der Zahl der unterschiedlichen chemischen Verbindungen und deren Anteil an der Gesamtkonzentration, abgeleitet werden. Weitere Anwendungen: Bestimmung der Phasenanteile (Gesamtanteil, Verteilung der Bereiche) in mehrphasigen Systemen; Porengrößenverteilung, Korngrößenverteilung an geätzten Proben.