Charakterisierung von Niob-Nitrid-Schichten auf SiO2 mittels EELS und EFTEM

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• 2003

  Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

  Warbichler, P., Kolbesen, B., Brunkahl, O., Angelkort, C., Bock, W., Oechsner, H., Röll, K. & Thoma, K., 2003, 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., S. P19-P19

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