LiDepoWetPro - Flüssigkeitsauftrag und fliehkraftgetriebene Filmausbreitung für eine effiziente Nassbearbeitung von Silizium-Wafern

Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.