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WetCleanSIM - Rechnerische Modellierung der nasschemischen Bearbeitung von Nanostrukturen in Halbleiterscheiben
Steiner, Helfried
(Teilnehmer (Co-Investigator))
Institut für Strömungslehre und Wärmeübertragung (3210)
Projekt
:
Forschungsprojekt
Übersicht
Fingerprint
Fingerprint
Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.
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Gewicht:
Alphabetisch
Engineering
Semiconductor Nanostructures
100%
Liquid Jet
100%
Models
100%
Macroscopic
100%
Cleaning
100%
Structure Surface
100%
Channel Structure
50%
Multiscale
50%
Etching Process
50%
Central Region
50%
Abrasion
50%
Substrates
50%
Mechanisms
50%
Carrier Liquid
50%
Centrifugal Force
50%
Axisymmetric
50%
Transport Phenomena
50%
Diffusive Transport
50%
High Quality
50%
Liquid Films
50%
Analytical Model
50%
Silicon Substrate
50%
Small Scale
50%
Diffusive
50%
Surface Material
50%
Molecular Scale
50%
Thickness
50%
Miniaturization
50%
Nanometre
50%
Convective
50%
Semiconductor
50%
Material Science
Semiconductor Material
100%
Nanocrystalline Material
100%
Liquid
100%
Surface Structure
50%
Silicon
25%
Film Thickness
25%
Materials
25%
Film
25%
Abrasion
25%