Originalsprache | englisch |
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Seiten (von - bis) | 1393-ff |
Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
Jahrgang | 2 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1984 |
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
- Experimental