An Information-Theoretic Measure for Pattern Similarity in Analog Wafermaps

Bernhard Geiger; Stefan Schrunner; Roman Kern

An Information-Theoretic Measure for Pattern Similarity in Analog Wafermaps

Bernhard Geiger, Stefan Schrunner, Roman Kern

Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - Apr. 2019
Veranstaltung	European Advanced Process Control and Manufacturing Conference - Villach, Villach, Österreich Dauer: 8 Apr. 2019 → 10 Apr. 2019 http://www.apcm-europe.eu

Konferenz

Konferenz	European Advanced Process Control and Manufacturing Conference
Kurztitel	apc\|m
Land/Gebiet	Österreich
Ort	Villach
Zeitraum	8/04/19 → 10/04/19
Internetadresse	http://www.apcm-europe.eu

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SlidesAkzeptiertes Autorenmanuskript, 1,82 MB
AbstractAkzeptiertes Autorenmanuskript, 284 KB

Dieses zitieren

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TY - CONF

T1 - An Information-Theoretic Measure for Pattern Similarity in Analog Wafermaps

AU - Geiger, Bernhard

AU - Schrunner, Stefan

AU - Kern, Roman

N1 - Schrunner und Geiger haben zu gleichen Anteilen zur Publikation beigetragen.

PY - 2019/4

Y1 - 2019/4

M3 - Abstract

T2 - European Advanced Process Control and Manufacturing Conference

Y2 - 8 April 2019 through 10 April 2019

ER -