Expanding FEBID-Based 3D-Nanoprinting toward Closed High-Fidelity Nanoarchitectures

Anna Weitzer, Michael Huth, Gerald Kothleitner, Harald Plank*

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Abstract

3D-nanoprinting via focused electron beam induceddeposition (FEBID) is a highly flexible additive-fabricationtechnique that has gained importance in the past few years forits variable design possibilities on the micro and nanoscale. In thiswork, we show the transition from mesh-like toward closed (sheetlike)structures and the development of necessary compensations(height correction, temperature compensation, and proximitycorrection) to minimize deviations between the target structureand the actual deposit. To accomplish this, we investigate thegrowth behavior, the influence of beam heating, and the electrontrajectories in extensive experimental series as well as finite-difference simulations. Out of this, we derive a modular Python tooltaking all compensations into account, enabling the controlled and accurate deposition of 3D-nanostructures in an individuallyadjusted layer-by-layer approach. This approach forms the basis for accurately fabricating closed, sheet-like objects on the nanoscaleand lays the foundation for depositing complex nanoarchitectures for various applications in research and development.
Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)744-754
Seitenumfang11
FachzeitschriftACS Applied Electronic Materials
Jahrgang4
Ausgabenummer2
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2022

ASJC Scopus subject areas

  • Allgemeine Materialwissenschaften
  • Elektronische, optische und magnetische Materialien
  • Werkstoffchemie
  • Elektrochemie

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  • Advanced Materials Science

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  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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  • CD-Labor für Direkte Fabrikation von 3D Nanosonden

    Plank, H. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Kuhness, D. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Sattelkow, J. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Seewald, L. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Brugger-Hatzl, M. (Teilnehmer (Co-Investigator)) & Winkler, R. (Teilnehmer (Co-Investigator))

    1/03/18 → 28/02/25

    Projekt: Forschungsprojekt

  • Functional Nanofabrication

    Dohr, J. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Plank, H. (Projektleiter (Principal Investigator)), Rosker, S. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Winkler, R. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Stermitz, M. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Reisecker, V. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Michelitsch, S. G. W. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Brugger-Hatzl, M. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Schmied, R. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Eicher, B. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Orthacker, A. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Arnold, G. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Sattelkow, J. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Kolb, F. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Ganner, T. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Haselmann, U. (Teilnehmer (Co-Investigator)), Seewald, L. (Teilnehmer (Co-Investigator)) & Aschl, T. (Teilnehmer (Co-Investigator))

    1/01/09 → 31/12/23

    Projekt: Forschungsprojekt

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