Fundamental Resolution Limits during Electron-Induced Direct-Write Synthesis

Georg Arnold, Rajendra Timislina, Jason Fowlkes, Angelina Orthacker, Gerald Kothleitner, Philip D. Rack, Harald Plank*

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

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