Originalsprache | englisch |
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Seiten (von - bis) | 83-87 |
Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
Jahrgang | 90 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2012 |
Fields of Expertise
- Advanced Materials Science
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)