Originalsprache | englisch |
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Publikationsstatus | Veröffentlicht - Sept. 2023 |
Optimization of damping properties of acoustic MEMS shutter devices
Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung
Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung
Originalsprache | englisch |
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Publikationsstatus | Veröffentlicht - Sept. 2023 |