Rapid and Highly Compact Purification for Focused Electron Beam Induced Deposits: A Low Temperature Approach Using Electron Stimulated H2O Reactions

Barbara Geier, Christian Gspan, Jason D. Fowlkes, Harald Matthias Fitzek, Sebastian Rauch, Johannes Rattenberger, Robert Winkler, Philip D. Rack, Harald Plank^*

^*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (5190)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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