Shedding light on the initial growth of ZnO during plasma-enhanced atomic layer deposition on vapor-deposited polymer thin films

Lisanne Demelius, Matthias Blatnik, Katrin Unger, Paola Parlanti, Mauro Gemmi, Anna Maria Coclite*

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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