Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

Julian Pilz, Alberto Perrotta, Paul Christian, Martin Tazreiter, Roland Resel, Günther Leising, Thomas Griesser, Anna Maria Coclite

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature
Julian Pilz (Redner/in)
25 Sept. 2017
Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Posterpräsentation › Science to science