Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

Julian Pilz, Alberto Perrotta, Paul Christian, Martin Tazreiter, Roland Resel, Günther Leising, Thomas Griesser, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

Material Science

Engineering