Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

Peter Warbichler, Bernd Kolbesen, O. Brunkahl, C. Angelkort, W. Bock, H. Oechsner, K. Röll, K. Thoma

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in einem Konferenzband › Begutachtung

Originalsprache	deutsch
Titel	12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
Herausgeber (Verlag)	.
Seiten	P19-P19
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2003

Charakterisierung von Niob-Nitrid-Schichten auf SiO2 mittels EELS und EFTEM
Brunegger, A., Kothleitner, G. & Rogers, M.
1/06/99 → 31/12/09
Projekt: Forschungsprojekt
Analytische Transmissionselektronenmikroskopie
Schaffer, B., Hofer, F., Rogers, M., Mitterbauer, C. & Wewerka, K.
1/01/95 → 31/01/03
Projekt: Arbeitsgebiet

Dieses zitieren

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TY - GEN

T1 - Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

AU - Warbichler, Peter

AU - Kolbesen, Bernd

AU - Brunkahl, O.

AU - Angelkort, C.

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AU - Oechsner, H.

AU - Röll, K.

AU - Thoma, K.

PY - 2003

Y1 - 2003

M3 - Beitrag in einem Konferenzband

SP - P19-P19

BT - 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,

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ER -