Width determination of SiO2 films in Si-based devices using low-loss EFTEM: image contrast as a function of sample thickness

Bernhard Schaffer, Werner Grogger, Ferdinand Hofer

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1-7
FachzeitschriftMicron
Ausgabenummer34
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2003

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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