ZnO Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition: Material Properties Within and Outside the “Atomic Layer Deposition Window”

Julian Pilz, Alberto Perrotta, Günther Leising, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „ZnO Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition: Material Properties Within and Outside the “Atomic Layer Deposition Window”“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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