ARCHIMEDES - Automatische und zuverlässige Klassifizierung von hochlinear gemessenen Waferkantenfehlern mit eingebetteten Screenern

Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.