Projektdetails
Beschreibung
Ziel der Dissertation ist es ein Gesamtkonzept für das Prozessmanagement in Hinblick auf Temperaturprofile und Durchflussprofile am Wafer während des Ätz.- bzw. Reinigungsprozesses zu entwerfen und in die Praxis umzusetzen.
| Status | Abgeschlossen |
|---|---|
| Tatsächlicher Beginn/ -es Ende | 1/05/14 → 30/04/17 |
Fingerprint
Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.