Fundamental Proximity Effects in Focused Electron Beam Induced Deposition

Harald Plank, Daryl A. Smith, Philip D. Rack, Ferdinand Hofer, Thomas Haber

Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (5190)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

1 Ergebnisse

Filter

Abgeschlossen
Functional Nanofabrication
Dohr, J., Plank, H., Rosker, S., Winkler, R., Stermitz, M., Reisecker, V., Michelitsch, S. G. W., Brugger-Hatzl, M., Schmied, R., Eicher, B., Orthacker, A., Arnold, G., Sattelkow, J., Kolb, F., Ganner, T., Haselmann, U., Seewald, L. & Aschl, T.
1/01/09 → 31/12/23
Projekt: Forschungsprojekt