Observer design for a nonlinear heat equation: Application to semiconductor wafer processing

Alexander Schaum, Stefan Koch*, Martin Kleindienst, Markus Reichhartinger, Thomas Meurer, Jaime A. Moreno, Martin Horn

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

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