Single Source Precursors in FEBID and FIBID: Similarities and Differences for CoSix Deposition

F. Jungwirth, F. Porrati, Daniel Knez, Harald Plank, Michael Huth, Sven Barth

Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Single Source Precursors in FEBID and FIBID: Similarities and Differences for CoSix Deposition“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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