Abstract
For a test system consisting of a pressure sensor that works based on a reference pressure and a deliberately placed de - fect, the use of pressure bombing for the detection of very small leaks on waferlevel was tested. Furthermore, a simpli - fied modeling approach was used in order to be able to predict the effects of pressure bombing on an observed leak, as well as obtain information on the expected dimensions of the leakage path.
| Titel in Übersetzung | Waferlevel Hermeticity Test for Pressure Sensors |
|---|---|
| Originalsprache | deutsch |
| Titel | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |
| Untertitel | Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings |
| Herausgeber (Verlag) | VDE-Verlag GmbH, Berlin, Offenbach |
| Seiten | 691-693 |
| Seitenumfang | 3 |
| ISBN (elektronisch) | 9783800756575 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2021 |
| Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte - Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland Dauer: 8 Nov. 2021 → 10 Nov. 2021 |
Konferenz
| Konferenz | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Deutschland |
| Ort | Stuttgart-Ludwigsburg |
| Zeitraum | 8/11/21 → 10/11/21 |
ASJC Scopus subject areas
- Hardware und Architektur
- Elektrotechnik und Elektronik
- Elektronische, optische und magnetische Materialien