Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

K. Stöflin, A. Behrendt, Theo Neger

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference paper

Original language	German
Title of host publication	56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
Publisher	.
Pages	122-123
Publication status	Published - 2006
Event	56. Jahrestagung der ÖPG: ÖPG 2006 - Graz, Austria Duration: 18 Sept 2006 → 21 Sept 2006

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@inproceedings{4ef7f51830e6400d930dcf234f204269,

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TY - GEN

T1 - Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

AU - Stöflin, K.

AU - Behrendt, A.

AU - Neger, Theo

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Beitrag in einem Konferenzband

SP - 122

EP - 123

BT - 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft

PB - .

T2 - 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft

Y2 - 18 September 2006 through 21 September 2006

ER -