Mathematische Modellierung des thermischen Verdampfungsverhaltens organischer Halbleiter

Organische elektronische Bauelemente wie z. B. Dünnfilmtransistoren werden üblicherweise durch thermische Verdampfung organischer Halbleitermaterialien aus einer Effusionszelle im Hochvakuum hergestellt. In der vorliegenden Arbeit wird ein mathematisches Modell einer Beschichtungsanlage entwickelt, welches das instationäre Verdampfungsverhalten der Halbleiter, das thermische Verhalten der Effusionszelle sowie das Wachstum dünner Schichten beschreibt. Das Modell soll als Grundlage für modellbasierte Reglerentwürfe dienen.

Organic electronic devices such as thin film transistors are usually manufactured by thermal evaporation of organic semiconductors out of an effusion cell under high vacuum conditions. In the present work a mathematical model of a coating plant is developed. It covers the transient evaporation of the organic semiconductors as well as the thermal behaviour of the evaporation cell and the growth of thin films. The model is intended to serve as a basis for model based controller designs.