iWaCon - Modellierung, Simulation, Prozessoptimierung und Regelung für Halbleiter-Produktionsanlagen

Immer kleiner werdende und komplexere dreidimensionale Strukturen sowie der Einsatz neuartiger Materialen in modernen Mikrochips stellen höchste Anforderungen an deren Fertigungsprozesse. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden ist eine enge Prozesskontrolle sowie die Sicherstellung der Prozesswiederholbarkeit in der Fertigung von Halleiterprodukten essenziell. Bei den Produktionsanlagen von LAM Research werden bereits in vielen Bereichen moderne regelungstechnische Methoden zur Kontrolle der Prozessparameter, wie beispielsweise der Druck, Volumenstrom und die Temperatur der verwendeten Prozesschemikalien, eingesetzt. Ziel des Forschungsprojektes ist die Verbesserung der bestehenden sowie die Entwicklung neuartiger Regelstrategien zur Erreichung der geforderten Prozessgenauigkeiten in aktuellen und künftigen Technologieknoten.