Characterization of silicon wafer surfaces by Contact Angle- and AFM-measurements

Thomas Bodner, Andreas Behrendt, Emil Prax, Franz Stelzer, Frank Wiesbrock

Institut für Chemische Technologie von Materialien (6380)

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster

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Abgeschlossen
Surface chemistry and adhesive properties of designed photoresist polymers
Fimberger, M., Mühlbacher, I., Stelzer, F., Schenk, V. & Wiesbrock, F.
1/01/10 → 31/12/13
Projekt: Forschungsprojekt