Growth, structure and stability of sputter-deposited MoS2 thin films

Reinhard Kaindl; Bernhard C. Bayer; Roland Resel; Thomas Müller; Viera Skakalova; Gerlinde Habler; Rainer Abart; Alexey S. Cherevan; Dominik Eder; Maxime Blatter; Fabian Fischer; Jannik C. Meyer; Dmitry K. Polyushkin; Wolfgang Waldhauser

doi:10.3762/bjnano.8.113

Growth, structure and stability of sputter-deposited MoS2 thin films

Reinhard Kaindl, Bernhard C. Bayer, Roland Resel, Thomas Müller, Viera Skakalova, Gerlinde Habler, Rainer Abart, Alexey S. Cherevan, Dominik Eder, Maxime Blatter, Fabian Fischer, Jannik C. Meyer, Dmitry K. Polyushkin, Wolfgang Waldhauser

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	1115-1126
Fachzeitschrift	Beilstein Journal of Nanotechnology
Jahrgang	8
DOIs	https://doi.org/10.3762/bjnano.8.113
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2017

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10.3762/bjnano.8.113

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TY - JOUR

T1 - Growth, structure and stability of sputter-deposited MoS2 thin films

AU - Kaindl, Reinhard

AU - Bayer, Bernhard C.

AU - Resel, Roland

AU - Müller, Thomas

AU - Skakalova, Viera

AU - Habler, Gerlinde

AU - Abart, Rainer

AU - Cherevan, Alexey S.

AU - Eder, Dominik

AU - Blatter, Maxime

AU - Fischer, Fabian

AU - Meyer, Jannik C.

AU - Polyushkin, Dmitry K.

AU - Waldhauser, Wolfgang

PY - 2017

Y1 - 2017

U2 - 10.3762/bjnano.8.113

DO - 10.3762/bjnano.8.113

M3 - Article

SN - 2190-4286

VL - 8

SP - 1115

EP - 1126

JO - Beilstein Journal of Nanotechnology

JF - Beilstein Journal of Nanotechnology

ER -