Improvement of Metallic Thin Films for HR-SEM by Using DC Magnetron Sputter Coater

Johannes Rattenberger, Alexander Melischnig, Ilse Letofsky-Papst, Thomas Ganner, Hartmuth Schröttner

Publikation: Nonprint-FormenWebseite / Webpublikation


Preparation techniques, like several kinds of coating methods play an important role for high resolution scanning electron microscopy (HR-SEM). Nonconductive sample like biological and synthetic samples have to be prepared with a thin conductive layer to prevent charging.
Herausgeber (Verlag)Leica Microsystems
PublikationsstatusVeröffentlicht - 9 März 2016

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