Originalsprache | englisch |
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Seiten (von - bis) | 96-108 |
Fachzeitschrift | Journal of Process Control |
Jahrgang | 70 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2018 |
Observer-based temperature control of an LED heated silicon wafer
Martin Kleindienst, Markus Reichhartinger, Martin Horn, Felix Staudegger
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