| Originalsprache | englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 481-485 |
| Fachzeitschrift | Vacuum |
| Jahrgang | 43 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1992 |
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Application
- Experimental
Surface analysis of dielectric films by time of flight SIMS
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