High dose proton implantations into silicon: a combined EBIC, SRP and TEM study

Stefan Kirnstötter*, Martin Faccinelli, Christian Gspan, Werner Grogger, Moriz Jelinek, Werner Schustereder, Johannes G. Laven, Hans-Joachim Schulze, Peter Hadley*

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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